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长胜投资集团开过动员会之后,相关各单位就立刻行动起来。他们还是选择长胜精工的实验车间为研发基地,因为目前只有这里,才有高精度的机加工能力,也只有这里,才符合这些设备安放的条件。
郭东算是这里的地主,于是他就自然而然的成为此次研发任务的领头人。虽然他们已经成立了独立的机械研究院,但他们还在这里办公,也可以称得上是主人。
还是老规矩,研发之前先开会,郭东作为主人在椭圆形的会议桌档头,其他人就分列两边。这个位置平常是老板坐的,今天他能坐这个位置开会,郭东感到很兴奋。“咳咳”他首先清了清嗓子,才用愉快的语气说道:“各位领导,我们先做一下简单的分工怎么样?”
“怎么分工呢?”化学研究所的王波和他熟,因此他先开口问道。
“我是这样想的,两样设备,我们分作两组讨论。根据所占的技术比重,我们每组选出一个领头的。
首先,光刻机研制组。由我们、软讯公司、电子研究所、光学研究所、化学研究所负责研制,这个设备我们所占比重最多,我就领头,大家认为怎么样?”
卢汝成和洪涛两人,本来以前就是他的部下,因此他们俩人都没有反对。光学研究所和化学研究所,说实话在光刻机中所占的技术比重真不大,因此他们也没有反对。
“同意”几个人都表示赞同。
“那好,光刻机研究组就这么定了,待会儿我们再开会具体的讨论技术细节。至于离子注入机,则纯粹是一个物理原理,我提议由物理研究所领导研制,大家认为怎么样?”
郭东又提出了离子注入机研制组的负责人人选,没办法,谁让他坐在主席位呢?他不牵头他肯定其他人都不会说。
这次就没有人出言支持他了,但也没有人反对。等了几分钟,郭东见没有人发言,就接着说:“那就这样吧!我们分开讨论。你们放心,离子注入机研制组,我们也会派机械工程师参加的。”
说完他就站起来,然后对在坐的其它几位负责人说道:“卢总、王所长、洪所长、胡所长我们到隔壁的办公室去讨论具体的技术细节吧!你们的位子让你们的技术员填补。我们两边分开讨论,互不干扰。”
“郭院长有令,我一定坚决执行。”洪涛开了个小玩笑,然后他也站起来对坐在旁听席的张东方说:“张东方,你来代替我坐这里开会。”
“哈哈”在座的人都发出了善意的笑声,手上也没有闲着,其它几位也找了人代替自己。只有郭东的手下例外,他没有坐郭东的位子,而是坐到会议桌离主席位最远的位子。他有自知之明,知道那个位子不是他坐的。
物理研究所的所长叫王卫红,凭他的名字,一看就知道是60年代出生的人。他是后来沈丹青对研究所的改革,而竞选成功的。说实话,他的资历是在座的负责人当中是最低的。但他初生牛犊不怕虎,否则也不可能竞选成功。他等郭东他们几位走后,就转到主席位坐定说道:“虽然我知道我资历最浅,但事情总得有个挑头的,大家又没有反对,我就厚颜当这个组长了。”
“啪啪啪!”这时,会议桌上的人开始有人给他鼓掌了,都是刚刚代替的人,他们不是一个级别,因此没有人觉得不妥,反而觉得他很有魄力。
离子注入机研制组的人虽然不太齐心,但总算是开了一个头。另一边的郭东几人来到郭东他的办公室后,郭东请他们落坐,然后亲自为他们泡了茶。
“郭院长,客气啦!客气啦!还劳你亲自泡茶。”王波接过郭东的茶,嘴上客气道。
“这不是应该的吗?难道我去你那里你还不给我泡茶。”郭东也客气的回应。
卢汝成和洪涛则大大咧咧,就像理所当然的一样接过茶就喝,他们在一起共事几年了,早就没有了生疏感。只有光学研究所的胡所长比较拘谨,他也是新竞选上来的,而其他几位则是老板亲自提拔的,因此他自认身份比他们低一头。
“嗯!”郭东哼了一声,就开始讲话了:
“光刻机据我的了解,我们已经将前期的技术难点已经解决了,在别人看来很难的问题,我们就只要组装了,唯一麻烦的是后期的实验数据采集,但没有难度了,只是要花时间。”
讲到这里,他就问卢汝成:“卢总,数控部分,你们能解决吧!”
“没问题,这个数控系统比数控机床简单多了,只有几个直线动作和机械臂的输送动作的协调,我们几天就可以解决,只是数据采集要花点时间,我打算要学员们干,让他们历练历练。”卢汝成表示很简单,他还打算只要学员们干,当然他们得把关。
“那就好,你们没问题,就真的没问题了。我先和大伙说说我对光刻机的设想,据我所知,光刻机根据曝光方法的不同分为:接触式、非接触式和聚焦式三种。
接触式是以前的老方法,缺点太大,我就不讲了。聚焦式虽然更先进,但难度也最大,我们目前还没有这个需要,可以做为以后的研究课题。为了赶时间,我打算这次就采取非接触式,符合我们目前的制程工艺,最高精度可以达到二十纳米以内,目前来讲完全足够了。相反,我们的芯片设计还没赶上来,这次就只试制十六位元的芯片,精度只要达到U米级就够了,洪所长你们扯后腿了啊!”
郭东又开了洪涛的玩笑,不过这却是实情。洪涛也很无奈,芯片设计很复杂,需要大量的熟练人手。跟老板说得一样,要设计纳米级芯片,至少得有几千熟练电子工程师,否则想都不要想。
想到这些,洪涛接过话头说道:“目前我们只能设计一些简单的芯片,连32位元的芯片都要花大量时间才行,至少一年计,我们的熟练人手太少了,实在没办法。老板也知道我们是短板,因此我还被老板批过。唉!”
“好啦!既然老板已经批评了,我们就不批评你了。”郭东又小小的开了一记玩笑,然后正式说道:“非接触式光刻的技术要点就是激光头、掩模板还有基片要无限接近,最好只相差几个纳米,这样才能保证最大的精度。这是属于一种1:1投影技术或者说光刻技术,对掩模板的制作要求非常高,卢总,能不能将设计图进行电子图缩小?而不是光学缩小?”
“理论上是可以的,我们尽量想办法,也就是说我们根本不搞纸质图纸了,直接用电子图纸投影曝光?”涉及到他的专业,卢汝成想也没想就回答了。
这时洪涛也获得了灵感,因此接过了话头说道:“我打算采用液晶投影技术,液晶是一种分子级别的化合物,只要我们技术足够,那么控制精度可以无限小,我相信它能够很好的解决1:1电子图形缩小问题。我们就不走国外那套老路了,那样太复杂,而且精度不够。”
“也只有你才知道国外是怎么搞的,我们从来都是自己搞自己的,不也很好吗?只要我们达到了目的就够了。”
这时王波也插话说道,他对国外是怎么搞的是真不懂,他的话没有半句水份。
“洪所长这个主意很好,这样电子图形缩小就没问题了。”卢汝成对洪涛的办法不由拍案叫绝。
“这样我们是不是可以取消掩模板呢?”
郭东提出了一个大胆的设想。
“当然不行,液不能代替掩模板,因为液晶屏是通过光的偏振原理,来实现图像显示的。它根本就不可能实现,高精度光刻,不过我们可以试一试,让液晶屏代替光刻机,给掩模板显影电子图形,如果能够做到,也是一种了不得的进步,能节省很多步骤。
不过我们必须研究出一种,对光非常敏感的光刻胶。在化学蚀刻的时候,又能有效的保护未被光照的镀铬层。”
“王所长,这点你们能解决吧!”洪涛先给郭东解释了液晶原理,然后又问王波道。
“没问题。自从研究光刻胶以来,我们已经研究出多种光刻胶了。都是分别针对不同的物质,给掩模板用的光刻胶,我们已经研究出来了。效果怎么样?要试试才知道。”王波给予了肯定的回答。
“那太好了,那我们就试试吧!”郭东激动的说道
由于这次用途的特殊原因,他们不需要复杂的液晶技术,只需要第一代液晶技术,即TNLCD。就是简单的黑白屏,白光就是电路图,如果掩模板与液晶屏隔得足够近的说,也可以留下满意的电路图形。
还有一点与普通的液晶屏不同,这里的背景光源是强光源,他不是给人看的,而是专为掩模板曝光的。
当然缺点也很明显,由于液晶分子的大小原因,精度不够,因此不适合纳米级芯片技术,这是他们后来经过实验,才明白这个道理的。
……